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NS-XY20Z5-01 AFM專用XYZ三維納米定位平臺
NS-XY20Z5-01是專為AFM應用設計的高精度三維納米定位平臺。針對AFM應用，該運動臺具有較大的XY軸行程和較快的 Z軸運動。行程 20/20/5μm ，分辨率0.5/0.5/0.1nm。
典型應用：
• AFM/SPM/SFM
• 光學探針 • 表面檢測
• 高密度存儲
• 半導體加工
關鍵詞:
XYZ三維納米掃描臺
三維位移臺
高精度位移臺
電控滑臺
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