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NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位平臺(tái)
NS-XY100Z100-01 重載XYZ三維納米定位平臺(tái)
NS-XY100Z100-01是一款高精度大負(fù)載三維納米定位平臺(tái)，負(fù)載可達(dá) 5kg。閉環(huán)行程可達(dá)100/100/100μm，閉環(huán)分辨率 0.5/0.5/0.5nm。
典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 半導(dǎo)體加工
• 激光加工 • 光學(xué)測(cè)量
• 表面檢測(cè)
微信公眾號(hào)
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三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司是一家專注于超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)和產(chǎn)品的專業(yè)制造商。我們致力于為高端裝備的制造以及科學(xué)研究?jī)x器的研發(fā)提供超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的創(chuàng)新產(chǎn)品與解決方案。
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